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バーンインは、電圧と温度を使用してデバイスの電気的故障を加速する電気ストレス テストです。バーンインは基本的にデバイスの動作寿命をシミュレートします。バーンイン中に適用される電気励起は、デバイスが使用可能寿命中に受ける最悪のバイアスを反映する可能性があるためです。使用されるバーンイン期間に応じて、取得される信頼性情報は、デバイスの初期寿命または摩耗に関連する場合があります。バーンインは、信頼性モニターとして使用することも、ロットから潜在的な初期不良を取り除くための製造スクリーニングとして使用することもできます。
バーンインは通常、サンプルに電気励起を加えて 125 度で行います。バーンイン プロセスは、サンプルを載せるバーンイン ボード (図 1 を参照) を使用することで容易になります。次に、これらのバーンイン ボードをバーンイン オーブン (図 2 を参照) に挿入します。バーンイン オーブンは、オーブンの温度を 125 度に維持しながら、サンプルに必要な電圧を供給します。適用される電気バイアスは、加速される故障メカニズムに応じて、静的または動的になります。
図 1. ベア バーンイン ボードとソケット実装バーンイン ボードの写真
故障を Y 軸に、動作寿命を X 軸にプロットすると、デバイス群の動作ライフサイクル分布はバスタブ曲線としてモデル化できます。バスタブ曲線は、デバイス群の故障率が最も高くなるのは、ライフサイクルの初期段階、つまり初期寿命と、ライフサイクルの消耗期間であることを示しています。初期寿命と消耗段階の間には、デバイスの故障が非常に少ない長い期間があります。
図2. バーンインオーブンの2つの例
初期故障 (ELF) モニターのバーンインは、その名前が示すように、潜在的な初期故障を選別するために行われます。バーンインは 168 時間以内、通常は 48 時間だけ実施されます。ELF モニターのバーンイン後の電気的故障は初期故障または初期故障と呼ばれ、これらのユニットが通常の操作で使用された場合、早期に故障することを意味します。
高温動作寿命 (HTOL) テストは、ELF モニターのバーンインの逆で、摩耗段階におけるサンプルの信頼性をテストします。HTOL は 1000 時間にわたって実施され、中間読み取りポイントは 168 時間および 500 時間です。
サンプルに適用される電気励起は多くの場合電圧で定義されますが、電流 (エレクトロマイグレーションなど) や電界 (誘電体破壊など) によって加速される故障メカニズムもバーンインによって加速されることは当然です。