真空乾燥炉における真空ポンプの動作原理と分類
Jan 08, 2025
真空乾燥炉における真空ポンプの動作原理と分類1、真空ポンプの作動圧力は、真空装置の限界真空度と作動圧力の要件を満たす必要があり、選択した真空ポンプの真空度の最高値は133pa = -0.1mpaです。通常、選択したポンプの真空度は、真空装置の真空度よりも半分から1桁高くなります。2、真空ポンプの動作点を正しく選択します。各ポンプには一定の動作圧力範囲があります。3、真空ポンプは、その作動圧力下で、真空装置のプロセス中に生成されたガスをすべて排出できる必要があります。4、真空ポンプを正しく組み合わせます。真空ポンプには選択的ポンピングがあるため、1 台のポンプでポンピング要件を満たせない場合があり、ポンピング要件を満たすために複数のポンプを組み合わせて相互に補完する必要があります。たとえば、チタン昇華ポンプは水素に対して高いポンピング速度を備えていますが、ヘリウムをポンピングできません。また、3 極スパッタリング イオン ポンプ (または双極非対称陰極スパッタリング イオン ポンプ) はアルゴンに対して一定のポンピング速度を備えているため、この 2 つを組み合わせることで、真空装置の真空度が向上します。また、一部の真空ポンプは大気圧で動作できないため、事前真空引きが必要です。一部の真空ポンプの出口圧力は大気圧より低く、前置ポンプが必要なため、ポンプを組み合わせて使用する必要があります。5、油汚染要件に対応する真空装置。装置が厳密にオイルフリーであることが要求される場合、水封ポンプ、分子ふるい吸着ポンプ、スパッタリングイオンポンプ、極低温ポンプなど、さまざまな非オイルポンプを選択する必要があります。要件が厳しくない場合は、オイルポンプを選択できます。さらに、冷却トラップ、バッフル、オイルトラップなどのいくつかの油汚染防止対策もクリーン真空要件を満たすことができます。当社の真空乾燥オーブンの選択は、ロータリーベーンオイルポンプです。その主な特徴:大きな力、速い速度、高効率。6、ポンプされるガスの組成、ガスに凝縮性蒸気が含まれているかどうか、粒子状の粉塵があるかどうか、腐食があるかどうかなどを理解します。真空ポンプを選択するときは、ガスの組成を知っておく必要があり、ポンプされるガスに適したポンプを選択します。ガスに蒸気、粒子、腐食性ガスが含まれている場合は、コンデンサー、集塵機、液体水フィルターなどの補助機器をポンプの入口ラインに設置することを検討する必要があります。7、真空ポンプから排出される油蒸気は環境にどのような影響を与えますか? 環境に汚染が許されない場合は、オイルフリー真空ポンプを選択するか、油蒸気を外部に排出することができます。8、真空ポンプの動作中に発生する振動がプロセスと環境に影響を与えるかどうか。プロセスが許容しない場合は、非振動ポンプを選択するか、防振対策を講じる必要があります。9、真空ポンプの価格、運転およびメンテナンスコスト。
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